pvd设备磁控溅射镀膜,怎样放置基体才能避免异色出现呢?

摘要:本人用一个曲面的不锈刚为基体,在上面度一层TiN薄膜,但是曲面异色,怎样放置基体才能避免异色出现呢?

pvd设备磁控溅射镀膜

TiN薄膜
TiN薄膜

本人用一个曲面的不锈钢为基体,在上面度一层TiN薄膜,但是曲面异色,怎样放置基体才能避免异色出现呢?
 

看来应该不断变化基底和靶材的相对位置,使得曲面上各部分的镀膜条件想通才能解决这个问题。

 
谢谢,上次我调了,上下异色,中间没有,那该怎么调呢
 

单纯的磁控溅射的话曲面工件很难不异色。

可以调的,我和同事解决了…谢谢
 

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