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Cr圆饼使用完后出现瘤子样子的东东是什么？
摘要：有可能是靶材不致密的原因造成的缺陷。靶材不致密，空洞中就残存有空气和其他污染性气体并被封闭在靶材中。使用时这些气体在放电的局部高温下会氧化金属材料，形成氧化物夹杂聚集在靶材表面形成瘤子状形貌。
Cr圆饼使用完后出现瘤子样子的东东是怎么回事？不胜感激。
Cr圆饼起瘤子
您这是靶材吗？瘤子解剖分析了吗？
不知你是怎么用的？使用条件需要详细介绍一下啊！
就是磁控溅射装饰镀膜。我也不是很清楚是怎么用的。
这可能是溅射镀膜残留的留疤，但不知什么原因造成的，也只是猜测！还是请有这方面经验的大牛解答吧！
有可能是靶材中的杂质造成的？
也有可能，你可以分析一下！
有可能是靶材不致密的原因造成的缺陷。靶材不致密，空洞中就残存有空气和其他污染性气体并被封闭在靶材中。使用时这些气体在放电的局部高温下会氧化金属材料，形成氧化物夹杂聚集在靶材表面形成瘤子状形貌。
我测试了瘤子部分的晶粒和成分，与其他部位的没什么区别，是不是靶材中毒的特征呢？
若是中毒，就不会等你快使用完了的时候还可以使用的。有可能是长时间的溅射过程中，有些溅射的颗粒由于颗粒之间的碰撞以及电磁场的综合作用，又反方向被打回到靶材上来了呢？